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MEMS (マイクロエレクトロニクス機械システム) 技術では、フォトリソグラフィとエッチングの技法を利用してシリコンウエハをミクロン以下の精度に加工し、1ミクロン未満の公差の可動機械構造を実現します。これにより、携帯電話内蔵型高性能ミニカメラなど、カメラ機能を有する機器の製造が可能となります。
TesseraのシリコンMEMSソリューションは、スモールフォームファクターで優れた価格対性能比や信頼性を提供します。こうしたシングルチップソリューションにより、静電アクチュエーターの動きを高精度に制御することが可能となり、単独のデジタルスチルカメラに匹敵するオートフォーカス機能や画像品質を提供する可動レンズを実現することができます。 |